| 制方式 | 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
| 加熱方式 | 數字式功率調整器 |
| 鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
| 最大功率 | ≤1200W |
| 最大輸出電壓電流 | 電壓≤12V 電流≤120A |
| 真空度 | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤10^-3Pa |
| 擋板類型 | 電控 |
| 真空腔室 | 不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
| 樣品臺 | 可旋轉φ62 （最大可安裝φ50基底） |
| 樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
| 樣品蒸發源調節距離 | 70-140mm |
| 蒸發溫度調節 | ≤1800℃ |
| 支持蒸發坩堝類型 | 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 |
| 預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
| 可選配擴展 | 機械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa） 數顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa） 分子泵機組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa） |
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